晶盛机电申请晶棒切割方法专利降低切割线的断线率
时间:2023-12-08 15:08来源:未知 作者:未知 点击:

  专利摘要显示,本发明提供了一种晶棒切割方法,属于晶硅加工技术领域,解决了现有技术同时切割多个晶棒容易断线的问题。本发明包括以下步骤:设定1个单位长度,在切割线个单位长度内,以切割线径向方向的两侧至少分别布置1个晶棒;将各个晶棒进给至与切割线相抵,获取切割线的线弓信息;根据线弓信息调整晶棒的进给速度和/或位置。本发明通过在切割线径向方向的两侧至少分别布置1个晶棒,使得相邻晶棒之间的作用力方向相反,可以减小切割线单个方向的受力,以此降低切割线的断线率;通过获取切割线的线弓信息,并根据线弓信息调整晶棒的进给速度和/或位置,进一步降低断线率。

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